Entwicklung eines Interferometers für das STÖR Experiment
Eine möglichst hohe Dichte ist das Ziel des STÖR Experiments. Diese muss gemessen werden. Zu diesem Zweck soll ein Laser Interferometer System aufgebaut werden, um die Dichte kontinuierlich zu überwachen.
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Aufbau eines Trümmerschutzsystems für das STÖR Experiment
In der ersten Experimentphase ist das noch nicht geplant, aber letztendlich soll das STÖR Experiment mit Metallplasmen betrieben werden. Der Betrieb mit Metallplasmen kann tiefgreifende Auswirkungen auf die Lebensdauer der verschiedenen Komponenten des Experiments haben. Zunächst einmal wollen wir nicht, dass sich Metall im Inneren der Vakuumpumpen ablagert. Während der Entladung kann ein Shutter das Vakuumsystem von der Plasmakammer trennen. Solange der Center-Post-Strom das Magnetfeld erzeugt, wird auch der größte Teil des Plasmas eingeschlossen sein. Sobald der Center-Post-Strom abgeschaltet wird, kühlt das Plasma ab, rekombiniert und bewegt sich in Richtung der Wandkomponenten. Diese Komponenten werden in der XUV-Lithografie als Trümmer (Debris) bezeichnet. Es wäre gut, vor der Vakuumpumpe ein Trümmerschutzsystem zu installieren. Diese würde dann direkt nach der Hauptentladung eingeschaltet werden. Dann würde der Shutter wieder geöffnet werden. Ein zweistufiges Abscheidesystem scheint eine gute Idee zu sein. Zunächst werden die Metallionen mit einer Separatorkathode aufgefangen. Die Anode führt zu einer vollständigen Entladung. Das neutrale Gas wird dann in der nächsten Stufe mit einer Koronaentladung gereinigt, ähnlich wie sie in Kohlekraftwerken zur Abgasreinigung eingesetzt wird. Eine starke Kathode erzeugt ein Plasma, die Elektronen laden den Staub negativ auf und dieser wird mit einem Abscheider entfernt. Ähnlich bräuchte man einen Schutz vor den Fenstern optischer Diagnostiken.
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